Componente si sisteme micromecanice fabricate prin tehnologia LIGA

CUPRINS

Prefata V

1. Introducere 13

2. Stadiul actual al microfabricatiei sistemelor microelectromecanice 19

3. Rezultate experimentale 85

4. Sisteme microelectromecanice realizate. Reductor planetar cu roti dintate cu profil cicloidal 113

5. Concluzii generale 135

Bibliografie 141

Anexa 147

Anexa I. Fotorezistul SU-8 149